Genmark Gencobot 8/2L 2L8090309 GB8-MT-80090334晶圓機器人

我司主營AMAT TEL LAM  MKS SMC VAT等品牌半導體設備，零件。

由于FAB設備的部件型號比較多，不能一 一列舉，如果有其它型號的零部件需要，請隨時聯系我們。

聯系電話:021-6838 8387

我司上海九展自動化技術有限公司致力于為國內半導體制造企業提供快速高效的設備，部件，耗材和維修服務。

我們跟國內外多家設備制造商，經銷商，零部件貿易商，晶圓廠，高校，研究所有長期的接觸和聯系，我們有能力保證品質并提供有競爭力的價格。

應用材料公司的CMOS和MtM領域的應用推動了對先進的150mm和200mm CVD技術的需求。超厚氧化物（≥20μm）;低溫處理（<200°C）;保形、低濕蝕刻率薄膜;需要具有可調折射率的摻雜薄膜來滿足這些器件技術的制造要求。這些薄膜加入了 Centura DXZ CVD 系統上可用的**工藝組合，從 TEOS、硅烷基氧化物和氮化物到低 k 電介質、應變工程和光刻薄膜。
DXZ CVD 系統配備了增強的功能，可可靠、仔細地處理各種 MtM 襯底（包括 SiC 晶圓），從負載鎖定晶圓映射到清晰的晶圓方向再到晶圓放置。

Centura DXZ 系統設計在成本（例如，零耗材的工藝套件）、吞吐量、易于維護和可靠性方面提供了顯著改進。該系統采用單晶圓、多腔室架構，可提供高達 80wph 的 TEOS 和 SiC 吞吐量（3,000? PE TEOS 和等離子硅烷）和高達 35wph 的 USG 吞吐量（2000? SACVD USG）。對稱設計和小腔室容積促進了沉積和清潔化學品的高效氣體利用，有助于降低總體擁有成本。A

0190-22944
0050-95586
0140-07695
0240-27880
0190-25187
0920-01122
0190-13203
0190-04157
0190-01183
0040-99859
1110-01063
0190-14401
0195-08334
0190-54169
0190-19022
0190-02702
0190-13407
0150-20448
0150-00091
0190-27049
0050-95588
0040-41326
0190-08582
0190-40064
0190-18113
0620-04248
0150-39041
0140-05870
0140-06834
0190-76008
0920-01014
0190-02977
0620-00421
3155083-109
0150-09240
834-201187
0190-40061
0150-09057
0041-38981
0190-40080
0150-20007
0050-08474
03-378300
0150-01218
0150-76174
0050-08473
0140-00854
0920-00051
0190-08034
0150-08089
0150-16991
0150-07566
0140-08065
0190-18061
0150-07565
0150-01254
0190-19200
0190-36677
0190-51249
0920-00056
0190-54072

0040-70247
0190-23942 
0041-09685
0041-31335    
0021-19312   
3700-01923
0190-43514
SL205S
61-428059-00
0190-27649
0010-42371
XGT310-30-1A-X2 ,60-313773-00
XU-RC350S-J01 0190-37700
ERCR-NS01-B004-E1 
0040-50657
0240-32230
0021-60551

Genmark Gencobot 8/2L 2L8090309 GB8-MT-80090334晶圓機器人