AMAT 0041-51502 Heated Showerhead w/Consumable Face Plate

我司主營AMAT TEL LAM  MKS SMC VAT等品牌半導體設備，零件。

由于FAB設備的部件型號比較多，不能一 一列舉，如果有其它型號的零部件需要，請隨時聯系我們。

聯系電話:021-6838 8387

我司上海九展自動化技術有限公司致力于為國內半導體制造企業提供快速高效的設備，部件，耗材和維修服務。

我們跟國內外多家設備制造商，經銷商，零部件貿易商，晶圓廠，高校，研究所有長期的接觸和聯系，我們有能力保證品質并提供有競爭力的價格。

Centura? iSprint? SSW ALD/CVD
隨著半導體器件不斷向更小的尺寸擴展，并轉向新的3D結構，突破了PPACt的界限，金屬化觸點的挑戰變得更加復雜。這些觸點將電子從芯片的一個位置傳輸到另一個位置，對器件性能至關重要。多年來，傳統的CVD鎢因其低電阻率和抗電遷移的魯棒性而成為金屬化許多這些特征的**工藝和材料。然而，在使用傳統CVD技術填充時，具有較高縱橫比的特征或可能具有可重入懸垂輪廓的特征的演變很容易導致接縫和空隙。

Centura? iSprint? ALD/CVD 接縫抑制鎢 （SSW） 系統采用一種處理工藝，可調節可能發生夾斷的特征位置的 W 生長。該技術可實現鎢金屬的底部增強生長。這種獨特的沉積機制抑制了接縫和空隙的形成，這可能不利于阻力和屈服。SSW系統的多功能性使芯片制造商能夠滿足多種應用（包括邏輯和存儲器）中各種苛刻功能的間隙填充要求，同時實現批量生產的高生產率。

0020-10117
0020-10123
0040-51148
0020-84596
0041-59059
0041-61243
0041-40655
0041-10348
0021-17409
0040-88628
0041-32713
0042-12952
0041-48723
0041-49511
0041-27031
0041-59933
0041-51502
0040-95475
0041-95812
0041-96872
0010-19048
0040-60980
0041-38996
0041-57029
0041-61155
0020-30407
0020-10771
0040-62718
303-05314
0021-01571
0021-00759
0040-09259
0020-31506
0021-38775
0040-48036
0040-76652
0041-78908
0021-35869
0021-09875
0020-30223
0040-76820
0020-30797
0040-39828
0041-35370
0040-51066
0021-38689
0040-07765
0021-02306
0020-46266
0020-31507

0040-50657
0240-32230
0021-60551

應用材料公司的® Picosun® Morpher? F 系統旨在顛覆 Beyond 和 More than Moore 技術中高達 200 mm 的晶圓行業。它能夠快速、全自動、高吞吐量地生產 MEMS、傳感器、LED、激光器、電力電子、光學器件和 5G 組件，并具有領先的工藝質量、可靠性和操作敏捷性。

應用材料公司 Picosun Morpher F 可適應您所在行業不斷變化的需求和客戶的要求，涵蓋從企業研發到生產和鑄造制造的所有業務垂直領域。Morpher 在基板材料、基板和批量大小方面具有領先的多功能性，以及廣泛的工藝范圍，使 Morpher 真正成為可轉型、包羅萬象的制造設施，讓您在行業中保持領先地位。

應用材料公司的 Picosun Morpher F 設計用于與行業標準單晶圓真空集群平臺相結合，對晶圓批次進行全自動處理。革命性的晶圓批量翻轉機制使該系統能夠與半導體生產線集成，其中大部分加工都是在水平幾何形狀中進行的，SEMI S2/S8 認證確保該系統符合行業最嚴格的標準。

憑借我們的雙室熱壁反應器設計，具有完全分離的前驅體導管和入口，我們創造了最高質量的 ALD 薄膜，具有出色的產量、低顆粒水平以及卓越的電氣和光學性能。緊湊、符合人體工程學的設計，易于快速維護，確保了市場上最短的系統停機時間和最低的擁有成本。

AMAT 0041-51502 Heated Showerhead w/Consumable Face Plate