Applied Materials 0040-03083 WXZ Heater
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AMAT 0010-67052 0041-96727 HEATER
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靜電卡盤，是一種適用于大氣或真空環境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運設備的總稱。
靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護；靜電吸附單元電極采用高頻導體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。
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根據其工作原理、結構形式、夾緊方式等方面的不同，常見的卡盤可以分為：機械卡盤、真空卡盤、靜電卡盤等。其中靜電卡盤（簡稱：ESC或E－Chuck）由于其對工件損傷小、精度高等特點，被**運用于半導體制造工藝等需要精密加工的場景。
靜電卡盤主要有以下三大優勢：
吸附力均勻：靜電卡盤由于吸附作用均勻分布在晶圓表面，可以保證晶圓具有較好的平整度，從而具有更好的加工精度。
污染小：機械卡盤與真空卡盤在工作中容易受到微小顆粒的污染，導致晶圓變形或表面劃傷。靜電卡盤對晶圓的污染較小，因此可保證晶圓加工過程中具有較高的良率。
適用于真空環境：真空環境下，真空卡盤無法對晶圓實現吸附。靜電卡盤由于利用靜電力進行吸附，因此在真空環境下依然可以保證較好的吸附性能。（半導體制造工藝中離子注入、化學氣相沉積（CVD）等環節需要在真空環境下進行。）
靜電吸盤使用特點
能在大氣和真空環境下同時使用；能吸附導體、半導體、絕緣體及多孔材料；精簡夾持搬運機構，靜電吸附能耗低；吸附力均勻，吸附時不會出現局部受力；對大面積薄片工件輕軟支撐，吸附時不會產生傷痕和皺紋；能夠快速開啟和關閉，對象物體背面不產生電位，不吸附周圍的灰塵。
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