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LAM RESEARCH 61-428059-00 控制器
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高頻發生器(radioffequency generator)又稱射頻發生器。電感耦合等離子體原子發射光譜/質譜等分析中用來產生等離子體炬的裝置。它產生的高頻電流輸給電感線圈,以激勵石英炬管(置于線圈中)內的氬氣,形成等離子體焰炬。
分自激式和他激式(晶控型)振蕩器兩種類型。振蕩頻率在3~50MHz,常為27.12MHz和40.68MHz,輸出功率在0.7~7kW,常用為1.0~2.0kW。
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