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應用材料公司的 AKT-PX 系列 PECVD 系統可在 1.6 至 5.7m2(第 5 代至 8.5 代)的玻璃基板上沉積高度均勻的低溫多晶硅 (LTPS) 薄膜。LTPS技術是一種成熟的方法,用于在有源矩陣有機發光二極管(AMOLED)和超高分辨率薄膜晶體管-液晶顯示器(TFT-LCD)中制造高性能晶體管陣列。
應用材料公司的 LTPS 系統適用于大面積玻璃尺寸,使制造商能夠在每塊基板上生產更多的顯示器或生產更大的顯示器,從而有助于加速移動設備和電視向更大屏幕尺寸的過渡。
AMOLED和先進的TFT-LCD顯示器使用多晶硅作為晶體管,而不是傳統LCD顯示器中使用的非晶硅。多晶硅具有較高的電子遷移率,使控制每個像素的晶體管更小,開關速度更快。這樣可以使顯示器更明亮、更清晰,能耗更低,這在圖像質量和電池壽命至關重要的移動應用中非常理想。
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